国投创业投资企业芯碁微装登陆科创板

文章来源：发布者：发布时间：2021-04-02 14:07:58阅读：次

2021年4月1日，国投创业投资企业合肥芯碁微电子装备股份有限公司(简称“芯碁微装”，股票代码：688630)正式登陆科创板，成为国内首家以专业光刻设备为主营业务的上市公司。

芯碁微装成立于2015年，主要产品是以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备，包括PCB(印制电路板)直接成像设备及泛半导体直写光刻设备等。此次IPO募资资金，将投入高端PCB激光直接成像(LDI)设备升级迭代项目、晶圆级封装(WLP)直写光刻设备产业化项目、平板显示(FPD)光刻设备研发项目，以及微纳制造技术研发中心建设项目。

芯碁微装在系统集成、光刻紫外光学及光源、高精度高速实时自动对焦、对准多层套刻、精密驱动控制以及智能生产平台制造等前沿科技领域，不断投入研发力量，承担了一系列国家级、省级重大科研项目，“6代及以上平板显示投影曝光技术”成功入选国家工信部2019年工业强基实施方案(第二批)，“8寸晶圆封装直写光刻设备研制项目”入选安徽省战略性新兴产业集聚发展基地项目，“130-90nm晶圆制版光刻设备研制及产业化项目”入选安徽省重大科技专项等。

国投创业看好芯碁微装核心团队的研发能力，以及依托微纳直写光刻核心技术能力的产业化经验，支持公司持续投入研发，拓展产品线，并帮助企业优化公司治理结构。在PCB领域，芯碁微装抓住了产品结构升级以及直接成像设备逐步替代传统曝光设备的发展机遇，自主研发的ACURA280激光直接成像设备能够应用于PCB最高端的IC载板领域。在泛半导体领域，芯碁微装抓住了国内集成电路及平板显示产业快速发展的机遇，通过自主研发推出了适用于500nm及以上线宽的掩膜版制版光刻设备及IC制造直写光刻设备，在IC掩膜版制版以及在多批次、小批量的IC、FPD器件及试制等场景下得到了应用。

国投创业重点投资半导体设备领域，布局光刻、化学气相沉积、刻蚀和化学机械抛光四大核心设备，以及检测、测试等一系列辅助设备，并拓展投资半导体关键零部件等细分行业，陆续投资中微公司、拓荆科技、华海清科、芯碁微装、中科飞测、砺铸智能、悦芯科技、富创精密、启尔机电等一批领军企业，助力我国半导体设备关键核心技术自主可控。

文章来源：国投